สถาบันวิจัยโทรคมนาคมออปติคัลสั่งซื้อระบบสปัตเตอริงลำแสงไอออนเพื่อสร้างการเคลือบผิวด้านเลเซอร์และอุปกรณ์ไมโครออปติก
HHI จะใช้เทคโนโลยี IBS ของ Veeco เพื่อสร้างการเคลือบผิวด้วยเลเซอร์
เครื่องมือ Veeco ได้ประกาศว่าได้จัดส่งระบบ Spector Ion Beam Sputtering (IBS) และ Sirius Optical Monitor System ไปยัง Fraunhofer Institute สำหรับ โทรคมนาคม(HHI).
สถาบันซึ่งตั้งอยู่ในกรุงเบอร์ลินประเทศเยอรมนีกล่าวว่าจะใช้เทคโนโลยี IBS นี้“ เพื่อพัฒนาและผลิตสารเคลือบผิวด้านเลเซอร์และอุปกรณ์ไมโครออปติกอื่น ๆ ”
“ การพัฒนาอุปกรณ์ไมโครออปติคัลที่ซับซ้อนต้องใช้เทคโนโลยีการสปัตเตอร์ที่ยอดเยี่ยม” Greta Ropers หัวหน้าฝ่ายแบ็กเอนด์และกลุ่มบรรจุภัณฑ์ของ Fraunhofer ให้ความเห็น
“ ระบบ Spector ของ Veeco ร่วมกับ Sirius OMS จะช่วยให้มั่นใจได้ว่าเรากำลังพัฒนาและผลิตอุปกรณ์ระดับโลกที่มีปริมาณงานสูงสุดและสามารถทำซ้ำกระบวนการบนแพลตฟอร์มอัตโนมัติที่จัดตั้งขึ้นได้”
ฟิล์มบางกรองแสง
แพลตฟอร์ม Spector สร้างฟิล์มบางออปติคอลคุณภาพสูงพร้อมระดับผลผลิตและปริมาณงานที่ดีขึ้นตามที่ลูกค้าต้องการ ฟิล์มบางที่พ่นด้วยลำแสงไอออนจะถูกสะสมด้วยพลังงานสูงซึ่งแตกต่างจากการเคลือบแบบระเหยโดยใช้พลังงานสูงทำให้สามารถควบคุมความหนาได้เป็นพิเศษและมีความหนาแน่นของข้อบกพร่องต่ำสำหรับการเคลือบด้วยเลเซอร์ Sirius OMS ช่วยเพิ่มขีดความสามารถของแพลตฟอร์ม Spector โดยการเชื่อมต่อการควบคุมการตรวจสอบบรอดแบนด์ด้วยความเสถียรของฟิล์มที่ฝากด้วยลำแสงไอออน .
“ Fraunhofer HHI ผู้นำระดับโลกในการพัฒนาเคลือบผิวด้านเลเซอร์และอุปกรณ์ไมโครออปติกรุ่นใหม่” ดร. เอเดรียนเดวาซาฮายัมรองประธานและผู้จัดการทั่วไปของธุรกิจ Advanced Deposition and Etch (AD&E) ของ Veeco กล่าว “ ระบบ Spector ให้คุณภาพและความยืดหยุ่นที่เหนือชั้นสำหรับฟิล์มบางที่เคลือบด้วยแสงที่มีความแม่นยำสูงและจะช่วยเร่งเป้าหมายในการพัฒนา”
เงินทุนสำหรับโครงการนี้ได้รับจาก Forschungsfabrik Mikroelektronikโรงงานวิจัยข้ามสถานที่สำหรับไมโครอิเล็กทรอนิกส์และนาโนอิเล็กทรอนิกส์โดยมีสถาบัน 11 แห่งภายในกลุ่ม Fraunhofer พร้อมกับนวัตกรรมสำหรับไมโครอิเล็กทรอนิกส์ประสิทธิภาพสูงและสถาบัน Ferdinand-Braun, Leibniz-Institut fürHöchstfrequenztechnik ระบบขายโดยร่วมมือกับพันธมิตรช่องทางยุโรปของ VeecoVeonis Technologies
เวลาโพสต์: ต.ค. 31-2562